愛發科ULVAC熱陰極電離真空計傳感器

特點

• 操作性的提高：通過與PC/智能手機的連接，可以進行設定點設置、狀態確認等。

• 燈絲壽命通知功能：通過監測燈絲功率，可提前通知燈絲壽命。

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• 可連接到不同的測量范圍：復合電離真空計可以根據工藝選擇測定子。

• 小型化：與之前的產品相比，實現了尺寸的大幅縮小（控制器體積縮小56%），成為同級別最小的產品之一。

• 更豐富的陣容：除了模擬輸出規格（ST200-A）和串行通信規格（ST200-R）之外，還將增加EtherCAT規格（ST200-E）。

• 世上第一臺三極管金屬電離真空計（正在申請）：即使在惡劣的環境中，真空計的使用壽命也很長。

• 壓力測量范圍廣：從大氣壓到高真空范圍（1×10⁺⁵～1×10^-5Pa）（選配SWU10-R的情況下）。

• 可以精確的測量大氣壓：可以檢查腔體的開啟情況（當連接了可選的單元SAU時）。

用途

• 用于有機EL?觸摸屏等制造設備的極限壓力確認以及工藝管理用真空爐等各種工業真空設備的極限壓力確認

• 用于在含有多種碳氫化合物（油類）的環境中進行測量

• 用于在真空零件加工時殘留切削油和清潔液的環境中進行測量

• 用于需要降低測定子更換頻率的真空設備

※在腐蝕性氣體（鹵素氣體）環境中使用時請咨詢我們。