皮拉尼真空計選型指南：場景匹配 + 參數核驗 + 實操建議

一、di一步：明確核心場景需求（選型的前提）

1. 測量對象：氣體介質與成分

• 單一氣體（空氣 / 氮氣 / 氬氣等已知氣體）→ 常規型號（默認空氣 / 氮氣校準）；

• 多氣體混合（如半導體刻蝕的 CF?+O?、化工反應氣體）→ 支持多氣體校準曲線的型號；

• 腐蝕性氣體（Cl?、F?、NH?等）→ 防腐蝕燈絲（氮化硅涂層）+ 耐蝕探頭外殼（哈氏合金 / SUS316）；

• 易污染氣體（油氣、粉塵、鍍膜蒸汽）→ 防污染燈絲 + 配套過濾器（油霧 / 粉塵過濾器）。

2. 真空范圍：實際工作壓強區間

• 中低真空（10?1～10?? Pa）→ 常規皮拉尼真空計（單一量程即可覆蓋）；

• 寬量程（大氣壓～10?? Pa，如 “常壓抽真空" 全流程）→ 寬量程皮拉尼（兼顧常壓與低真空）；

• 超高真空（＜10?? Pa，如質譜儀、電子顯微鏡）→ 不可單獨使用，需與電離真空計組合（皮拉尼負責中低真空段，電離負責超高真空段）。

3. 精度與響應速度要求

• 工業控制（如真空泵配套、真空干燥箱）→ 精度 ±2%～±5% FS，響應時間 100～200ms；

• 精密設備（如半導體鍍膜、刻蝕）→ 精度 ±1%～±2% FS，響應時間＜50ms（快速捕捉壓強波動）；

• 動態場景（如氣體快速切換、抽氣初期）→ 響應時間＜80ms，支持動態壓強補償算法。

4. 安裝與環境條件

• 高溫環境（如真空熱處理爐，環境溫度＞80℃）→ 耐高溫探頭（外殼耐 300℃以上）；

• 振動環境（如真空泵出口、生產線設備）→ 耐振動燈絲（粗絲設計，30～50μm）+ 防沖擊結構；

• 電磁干擾環境（如射頻電源附近）→ 帶電磁屏蔽 + 差分信號輸出（RS485）；

• 安裝空間受限（如小型分析儀器）→ 小型化探頭（φ6×30mm 以下）。

5. 系統兼容性：信號與控制需求

• 自動化控制（接入 PLC/DCS）→ 標準化輸出信號（4-20mA、RS485/Modbus）；

• 本地顯示需求→ 帶 LCD 顯示屏的型號；

• 日本產設備配套（如 ULVAC 鍍膜機、HORIBA 分析儀器）→ 優先選擇同品牌或兼容日本設備協議的型號（如 Modbus-RTU、日系設備專用接口）。

二、第二步：核心參數匹配（篩選型號的關鍵指標）

關鍵參數避坑點：

• 精度標注：優先選擇 “工作區間精度"（如 10?3～10?1 Pa 時 ±1.5% FS），而非僅標注 “滿量程精度"（邊緣量程可能誤差達 ±10%）；

• 響應時間：需確認 “90% 響應時間"（行業標準），避免混淆 “初始響應時間"（未穩定的信號）；

• 氣體校準：多氣體型號需確認是否包含目標氣體（如半導體場景需確認是否支持 CF?、SF?），而非僅標注 “多氣體兼容"。

三、第三步：按場景分類選型（附日本主流型號適配）

場景 1：半導體制造（刻蝕 / 鍍膜，多氣體、高精度、動態響應）

核心需求：

• 氣體：多工藝氣體（CF?、O?、Ar 等）+ 易污染（光刻膠 / 膜層蒸汽）；

• 真空范圍：10?1～10?? Pa；

• 精度：±1%～±1.5% FS；響應時間＜50ms；

• 環境：電磁干擾（射頻電源）+ 密封要求高。

選型方案：

• 優先型號：HORIBA PG-300（日本堀場）、ULVAC GP-200（日本愛發科）；

• 關鍵特性：恒溫模式 + 參考腔（溫度補償）、內置 10 + 種工藝氣體校準曲線、防污染鉑絲燈絲、RS485 數字信號（抗干擾）；

• 配套措施：加裝油霧 / 粉塵過濾器，每 3～6 個月校準一次。

場景 2：真空鍍膜設備（高污染、動態壓強、中低真空）

核心需求：

• 氣體：氬氣 / 氮氣 + 鍍膜蒸汽（高污染）；

• 真空范圍：10?1～10?? Pa；

• 精度：±1.5%～±2% FS；響應時間＜80ms；

• 環境：振動（真空泵）+ 高溫（鍍膜加熱）。

選型方案：

• 優先型號：ULVAC GP-100（寬量程版）、TOKYO KEISO TM-201（耐溫款）；

• 關鍵特性：粗絲鉑絲燈絲（耐污染）、耐高溫探頭外殼（SUS316）、帶導流罩（防蒸汽沖擊）；

• 配套措施：每 2 個月更換過濾器，每 6 個月清潔 / 更換燈絲。

場景 3：常規工業真空設備（真空泵配套、干燥箱，單一氣體、低成本）

核心需求：

• 氣體：空氣 / 氮氣（單一氣體）；

• 真空范圍：10?1～10?3 Pa；

• 精度：±2%～±5% FS；響應時間 150～200ms；

• 要求：成本適中、維護簡單。

選型方案：

• 優先型號：TOKYO KEISO TM-201（恒流模式）、SHIBATA SV-100（日本柴田科學）；

• 關鍵特性：結構簡單、MTBF＞10 萬小時、模擬信號輸出（4-20mA）；

• 配套措施：每 12 個月校準一次，安裝時遠離熱源。

場景 4：化工真空反應（腐蝕性氣體、中低真空）

核心需求：

• 氣體：腐蝕性氣體（Cl?、NH?）+ 混合氣體；

• 真空范圍：10?1～10?? Pa；

• 精度：±2%～±3% FS；

• 要求：耐腐蝕、防泄漏。

選型方案：

• 優先型號：HORIBA PG-300 Corrosion-Resistant（耐腐版）、ULVAC GP-200HF（哈氏合金外殼）；

• 關鍵特性：氮化硅涂層燈絲（防腐蝕）、哈氏合金探頭外殼、密封泄漏率＜10?? Pa?m3/s；

• 配套措施：定期用無水乙醇清潔探頭，避免腐蝕性氣體殘留。

場景 5：分析儀器（GC-MS、小型質譜儀，小體積、高精度）

核心需求：

• 氣體：氦氣 / 氮氣（單一氣體）；

• 真空范圍：10?2～10?? Pa；

• 精度：±1% FS；響應時間＜50ms；

• 要求：小體積、低噪聲、無死體積。

選型方案：

• 優先型號：HORIBA PG-100Mini（小型化）、ULVAC GP-300（低噪聲版）；

• 關鍵特性：微型探頭（φ4×25mm）、低噪聲電路（數字濾波）、無死體積接口；

• 配套措施：與儀器同步校準（每 6 個月一次），避免振動影響。

四、第四步：選型驗證與避坑指南（確保落地適配）

1. 3 個核心驗證動作（避免選型失誤）

• 氣體兼容性驗證：向廠家提供實際氣體成分，確認型號是否內置對應校準曲線，或能否提供修正系數；

• 精度實測驗證：要求廠家提供 “工作壓強區間內的精度報告"（如 10?3 Pa 時的實際誤差），而非僅看滿量程精度；

• 設備兼容性驗證：確認輸出信號與現有 PLC/DCS 匹配（如日系設備常用 Modbus-RTU 協議），探頭接口尺寸與真空系統一致（如 KF16/KF25 法蘭）。

2. 常見選型誤區

• 誤區 1：追求 “滿量程精度" 而忽略工作區間→ 正確做法：重點關注實際工作壓強段的精度（如鍍膜機常用 10?3～10?2 Pa，需確認該區間誤差）；

• 誤區 2：多氣體場景選常規型號→ 正確做法：必須選支持多氣體校準的型號，否則誤差可達 1～2 個數量級；

• 誤區 3：超高真空場景單獨使用皮拉尼→ 正確做法：組合電離真空計（皮拉尼負責預抽真空段，電離負責超高真空段）；

• 誤區 4：忽略環境溫度影響→ 正確做法：環境溫度波動＞±5℃時，必須選帶溫度補償的型號（如 ULVAC GP-200 內置 PT100）。

3. 成本與性能平衡建議

• 高精度場景（半導體、分析儀器）：優先選擇日本yi線品牌（ULVAC、HORIBA），雖成本較高（約 5000～15000 元 / 臺），但穩定性和精度有保障；

• 常規工業場景（真空泵、干燥箱）：選擇性價比型號（TOKYO KEISO、SHIBATA），成本約 2000～5000 元 / 臺，滿足基本控制需求；

• 特殊場景（腐蝕性、高污染）：不建議犧牲材質和防護功能降低成本，否則維護頻率和更換成本會更高。

五、選型總結

1. 先明確氣體介質、真空范圍、精度 / 響應速度、環境條件 4 大核心需求；

2. 再匹配測量范圍、精度、氣體兼容性、材質、輸出信號等關鍵參數；

3. 最后結合場景選擇對應品牌型號（日本品牌優先適配日系設備），并通過驗證動作規避風險。